话说这种高精度的数控机床设计可不简单，需要做数据模型设计，要理论验证的。倘若要修改一个关键部件，就要重新做数据模型论证。而传动系统中的轴承非常重要，若是要修改，就等于重新设计一台重型数控机床了。
许振鸣也知道其中的难度。“这一批次的四台机床就这么办吧。要是重新设计，时间上不允许。”他犹豫了一下，当场就拍板下来，确定好洪爱国团队的下一步研发课题方案。
少顷以后，许振鸣又想起来一个好点子，“洪厂长，带我去看看光刻机的基础平台系统。咱们边走边聊。”
于是乎，许振鸣和李尧在洪爱国的带领下，朝另外一间试验车间走去。
在路上，他告诉洪爱国，“你们团队人员应该引进计算机专业的人才。让计算机专业的人员编写一个机床结构设计软件，可以通过软件来生成数据模型。”
这个好点子就是许振鸣刚才想起来的，国际上许多机床公司都已经使用的方法。
用软件的方法建立机床数据模型，在计算机软件里论证好，再开始制造机床，速度快，研发成本还少了许多。国外都是用这种方法设计机床，而我们国内还没有这方面的研究，差距可想而知。
“嗯…许董的这个方法是比较好。我们还可以把试验数据库代入数据模型算法里。”洪爱国很显然已经听懂许振鸣的也是，激动的笑道。
不多时，他们来到一个恒温、无尘的试验车间。
这车间里有一个类似卧式加工中心的平台。平台上有两个安装工位的小平台，加工面非常光滑，用镜面来形容也不为过。
这座平台式的机构，就是光刻机的基础平台系统，上面将要安装两个工位。一个工位用来光刻硅晶圆片，一个工位用于检测晶圆片。
这种方式的加工方法，就叫双工光刻机，目前全球都没有这种设备。一鸣集团公司的这台krf光刻机若是能研发成功，便是全球第一台双工位光刻机。
这事想想都让人激动，但实现起来难度非常大！
光刻机的基础平台对准精度特别高，要求做到0.003-0.01微米，全球有几家企业能做到？
是以，不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统，每一个备件都加工件，精度要求都非常高。
许振鸣把李尧喊来，就是让他参与改进主传动机构的改进工作，把空气轴承应用到光刻机的平台里。
“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗？”听完许振鸣的介绍，李尧彻底震惊了。他是听许振鸣说过要做光刻机，但不知道光刻机的精度要求会如此之高。
0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念？用肉眼根本看出来有偏差，只能通过激光定位系统来测量误差。
而这种精度的测距仪器，国内目光好像还没有，只有一鸣集团公司利用进口元件制作了几套在使用。即便长弓集团公司这样的重点单位也没有，只能从一鸣集团公司来订购。
所以说，李尧根本没听说过，也没见过这种高精度的测量仪器。他满腹狐疑的看着许振鸣，心中暗道：“我们集团公司能做出这种精度的设备么？”
许振鸣好像能看懂李尧的内心想法。
“李尧，你不用管其他的问题，只要把空气轴承给我提供过来就行。光刻机的基座平台对震动量要求特别高，我们已经采用液压油系统来减震，跟流体轴承的原理非常相似。”
许振鸣朝李尧一挥手，让他不要把注意力放在其他地方。
他告诉李尧不要小看这种平台机构。通过液压油和空气室的缓冲机构，已经把平台运动时的震动量减少到最低限度。
听完这番介绍，李尧倒是给许振鸣提出一个好注意：“许董，按照流体力学的原理来说，我建议这台设备的减震系统全部用纯净级的液压油。空气和液压混用不合适，热膨胀系统不同，会影响精度。”
这方面的技术他比较内行，在发明流体轴承的时候，对各种流体介质都做过试验。
听到这话，洪爱国顿时来了精神。
“李总，你能不能把你的流体介质试验数据库给我们一份？若那样，我们会少走许多弯路。”他微笑着看向李尧，虽然知道自己的要求有点过分，却还是提出这种无理的要求。
这些流体介质试验数据是李尧十几二十年的心血，流体轴承专利技术的支持数据。一般情况下，李尧怎么肯能会跟他人分析数据？
所以说，洪爱国提出这个要求以后，也感到有点不好意思，目光又转向许振鸣。他希望许振鸣能帮他说句话，把李尧的数据拿到手。
但许振鸣怎么能说出这种要求？这跟桂长树问他要芯片fdry的制程工艺技术一样，许振鸣会同意吗？
是以，许振鸣只能笑了笑，拿出手机准备给胡明镇打电话。他想要这台光刻机的设计人胡明镇来听听李尧的意见，把这台光刻机的传动机构原理和减震系统原理再修改一下。
这时候，李尧却做出一个让许振鸣的很意外的决策。
“好啊洪厂长，我回去以后就给你发传真，把流体介质的试验数据发给你。”他笑得很轻松，根本没有保守技术秘密的想法。
李尧的这番举措让许
喜欢大国智能制造请大家收藏：(m.booktxt.win),笔下小说网更新速度最快。